Neubau MOCVD Halle für die Fraunhofer Gesellschaft, Institut für angewandte Festkörperphysik (IAF) in Freiburg
Auftraggeber: Bauherr Fraunhofer-Gesellschaft e.V.
Architekt: SSP AG Architekten / Ingenieure http://www.ssp.ag
Planungsbüro: Klett Ingenieur GmbH http://klett-ingenieur-gmbh.de
Am bestehenden Standort des IAF in Freiburg entsteht ein Neubau, in dem fünf Anlagen zur Epitaxie von Verbindungshalbleitern aus metall-organischen Verbindungen, sogenannte MOCVD Anlagen, aufgestellt und betrieben werden.
Projektdaten:
Zu- und Abluftzentralgerät 26.000 m³/h mit WRG
5 Sonderabluftanlagen
8 Piff und FFU
27 Brandschutzklappen
3 Kompaktkältemaschine 250 kW
Heizungszentral
Kältezentrale
9 MSR Standschaltschränke
ISP mit 754 Datenpunkten
Hima Sicherheitssteuerung mit 110 Datenpunkten
Gekoppelt an 38 Dräger Gaswarnanlagen sowie an das Gaskabinett und 5 MOCVD Maschinen
